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精密测量
地址:威海市初村镇初河南路60号
客服:0631-5224466 5229596
传真:0631-5219496
邮编:264200
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ULTRA Quick Vision361系列-超高精CNC视像测量系统 首页 > 产品目录 > 精密测量 > 三丰量具 > 视像测量系统/其它
标准型玻璃光栅尺
超高精度水晶玻璃光栅尺、虚拟零度热膨胀变化
ULTRA QUICK VISION 装备有这种分辨率为0.01µm和线性膨胀系数为0.08×10-6K的水晶玻璃光栅尺。该虚拟零度热膨胀系数意味着Ultra Quick Vision 可以将由温度变化产生的影响降到最低。
地下11米的超高精度工厂
流体静力学空气轴承
详见QUICK VISION (E4125)产品样本
特点
• 采用高精度空气轴承线性导轨系统,从而将直线度误差减少到最小。
• 采用分辨率为0.01mm的玻璃光栅尺,此玻璃光栅尺由位于地下11米处的高精密工厂制造。
• 通过使用虚拟零度热膨胀的玻璃光栅尺,将温度变化对精度的影响减少到最低。
• 使用有限元方法(Finite Element Method)分析优化主机的机械结构。
• 稳定的几何精度(如:每个轴的直线度和垂直度)以降低热效应影响。
性能参数
型号
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ULTRA QV350-PRO
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测量范围
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X轴
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350mm
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Y轴
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350mm
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Z轴
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150mm
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分辨率
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0.01µm
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高灵敏度CCD照相机
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黑白
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精度*
(20°C± 0.2°C) |
E1XY
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(0.3+L/1000)µm
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E1Z
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(3+2L/1000)µm
[(1+2L/1000)µm:10-60mm] |
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E2XY
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(0.5+2L/1000)µm
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最大驱动速度(X/Y/Z轴)
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100mm/sec
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照明(PRL:可编程环行灯)
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表面
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卤素灯
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轮廓
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卤素灯
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PRL
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卤素灯
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放大倍率变化系统
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可编程电动转盘
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工作台玻璃尺寸
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438×509mm
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最大工件负载
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40kg
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尺寸(W×D×H)**
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890×1326×1650mm
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重量**
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1320kg
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* 测量精度在以下条件下定义
可编程电动转盘:1X,物镜套装:5X
L:任意两点间距离(mm)
**包括机器台架
选件
02ALA400:1X物镜
02ALA150:1X物镜(SL型 )
02ALA410:2.5X物镜
02ALA170:2.5X物镜(SL型 )
02ALA420:5X物镜
958448:校准玻璃图
960707: 操作杆盒